三維壓電宏微復合平臺

本次介紹的就是一款宏微復合跨尺度兩級驅動的壓電精密定位臺，它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個方向產生運動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實物外觀如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的一端具有移動臺面，臺面尺寸為60mm×60mm，在移動臺面上配有16個M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個112mm×112mm的底座，在底座上具有8個φ8mm及3個φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復合平臺的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺采用了手動千分尺調節，該千分尺的行程為4mm，單圈調節為500μm。

該宏微復合平臺的壓電驅動部分是由壓電陶瓷來驅動，施加電壓信號來控制。通過芯明天壓電控制器對壓電平臺內部壓電陶瓷施加電壓信號，壓電陶瓷產生相應的位移，再由柔性結構傳遞到移動臺面，從而使得移動臺面產生微納米級的微位移運動。

該部分壓電驅動的連接是通過引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復合平臺相連的。該套壓電系統的引線兩端都采用連接器連接。

三維壓電宏微復合平臺 技術參數

E01.D3系列壓電控制器驅動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的基本參數如下。